ASML將在(zai)2024年(nian)推(tui)出(chu)高數(shu)值孔徑(HighNA EUV)光刻(ke)機,引發各大(da)先進制(zhi)程(cheng)玩家爭相搶購。英特爾已經訂(ding)購了第一(yi)臺(tai)(tai)ASML NA EUV光刻(ke)機的(de)(de)實驗室版本,正(zheng)在(zai)評估(gu)是否用于(yu)Intel 18A制(zhi)程(cheng)的(de)(de)量產。此外(wai),臺(tai)(tai)積電(dian)和三星(xing)都在(zai)爭相購買(mai)正(zheng)式(shi)版本的(de)(de)High NAEUV光刻(ke)機,用于(yu)2nm及以(yi)下制(zhi)程(cheng)。
High NA EUV光刻(ke)機能使光學系統(tong)的數值孔徑(jing)提(ti)升至0.55,達到比傳統(tong)掩模版更高(gao)的精(jing)度和光刻(ke)速度,是生產2nm及以(yi)下(xia)制(zhi)程節點的關鍵設備。因(yin)此(ci),High NA EUV光刻(ke)機的正式推出(chu),為先進制(zhi)程節點的進一步下(xia)探提(ti)供了技術基礎(chu)。
ASML光刻機發展流程(圖片來(lai)源:ASML)
然而,先(xian)進制程(cheng)玩家在使(shi)用High NA EUV光(guang)刻(ke)機的(de)(de)過程(cheng)中,必須克服成本價和耗(hao)電(dian)量的(de)(de)挑戰(zhan)。在1nm之前,采(cai)用高數值孔(kong)徑單次(ci)曝光(guang)的(de)(de)成本會高于采(cai)用低數值孔(kong)徑的(de)(de)多次(ci)曝光(guang)。此(ci)外,High-NAEUV光(guang)刻(ke)機對于光(guang)源的(de)(de)需求大幅提升(sheng),耗(hao)電(dian)量將從1.5兆(zhao)(zhao)瓦提升(sheng)到2兆(zhao)(zhao)瓦。雖然先(xian)進制程(cheng)“三大家”爭先(xian)購買(mai)High NA EUV光(guang)刻(ke)機,但具(ju)體(ti)何時采(cai)用,還是未知(zhi)。
2nm制程領域(yu)所使用的 EUV光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)主要(yao)有(you)兩種,第一種是繼續采(cai)(cai)(cai)用7nm EUV光(guang)刻(ke)機的化(hua)學擴增抗蝕(shi)(shi)劑(CAR),第二(er)種是采(cai)(cai)(cai)用新(xin)的金屬氧化(hua)物抗蝕(shi)(shi)劑(MOR)。隨著英特(te)爾、臺積電、三星等半導(dao)體巨(ju)頭開始(shi)采(cai)(cai)(cai)購能實現2nm工(gong)藝(yi)的ASML High NA EUV光(guang)刻(ke)機,2nm EUV光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)MOR也將迎來新(xin)一輪(lun)的采(cai)(cai)(cai)購潮。